Sistema de recubrimiento por sputtering magnético

Este sistema de recubrimiento se encuentra en en el laboratorio de películas delgadas. Se trata de una cámara de vacío que permite hacer recubrimientos de películas delgadas en sustratos de hasta 0,5 m de diámetro. Para el recubrimiento utiliza una técnica basada en un campo magnético que permite bombardear un blanco y conseguir así la vaporización a baja temperatura y consiguiente deposición de los átomos sobre el sustrato. Esta técnica se conoce como sputtering magnético. El sistema de sputtering está formado por cuatro magnetrones de pulverización de 6 pulgadas.

Esta máquina pertenece al equipamiento de CSOA 05.